Turbo Molecular Pump, FF-63 / 80E ma le tuʻufaʻatasia o le Drive module, Suavai / Faʻamālūlūina o le ea, Suauʻu gaʻo
| Flange （I le） | ISO-K / CF63 | Max. Faatosinaga e leai se aoga i le faavavau | N2：1500 |
| Flange （fafo） KF | DN16 | Kasa Atoa （sccm） | N2：35 |
| Vili pamu (L / s） | N2：63-80 | O ia：30 | |
| O ia：55 | H2：19 | ||
| H2：34 | Ar：38 | ||
| Ar：65 | Vili saosaoa （rpm） | 72000 | |
| Fua Faʻatatau o le Faʻamamaina | N2：109 | Taimi e Tamoʻe Ai （min） | ≤2 |
| O ia：105 | Cooling Type, Tulaga masani | Water poʻo le Ea | |
| H2：104 | Faʻamamaina o le Suavai Faʻatagaina （L / min） | 1 | |
| Ar：109 | Vevela o le Vai Malulu （℃） | ≤25 | |
| Uunaiga faaiu （Pa) | CF：5×10-6 | Fesootaiga eletise: Volitiga （V AC） | DC24 / AC220 |
| ISO-K：3×10-5 | Max. Malosiaga faʻaaogaina （W) | 90 | |
| Max. Faʻaauau pea-lagona gaogao omiga (Pa) | 500 | Pule Faʻataʻitaʻiga | TCP-100 |
Faigaluega:
Faʻasologa o poloka poloka mo mea faigaluega atiaʻe e KYKY mo le mea faigaluega mea faigaluega o puʻupuʻu maualuga-faʻatinoina ituaiga. E mafai ona faʻamalieina atoatoa i mea faigata o loʻo manaʻomia i le mea faigaluega; ona o le maualuga feauauaʻii saosaoa ma sili sili ona lelei aveʻesega fausaga, E talafeagai ma tele lagolagoina pamu, ma e sili atu le malosi pamu gafatia mo laiti mole kasa.
Lelei:
1. Fausaga puʻupuʻu mo le tuʻufaʻatasia o faiga
2. Module design mo sili atu filifiliga
3. Maualalo maualuga-muamua faapalepale
4. Soʻo se tulaga faʻapipiʻiina
5. Saosaoa feʻaveaʻi ma faʻatulagaina
Talosaga:
Faʻasologa o poloka poloka mo mea faigaluega e talafeagai filifiliga mo maualuga-lagona gaogao mea faigaluega i fanua o tele spectrometry, luga auiliiliga ma isi saienisi suʻesuʻega.